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洁净室检测前的准备工作与环境确认检测前的准备工作直接影响数据的准确性和可靠性，需遵循"人、机、料、法、环"***确认原则。人员方面，检测人员需穿戴与洁净室级别匹配的洁净服，经风淋室吹淋后进入，避免化妆品、首饰等外带污染物；设备方面
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无尘室数据湖与故障预测模型某面板厂整合5年检测数据构建数据湖，训练LSTM神经网络预测设备故障。模型发现，风机轴承振动频谱中2.5kHz谐波峰值出现后，48小时内故障概率达92%。部署在线监测系统后，非计划停机减少70%。但数据湖
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